氣體的監(jiān)測(cè)和分析是檢查氣體質(zhì)量、確保用氣點(diǎn)或用氣設(shè)備能所用高純氣體的重要手段，氣體廠家，也是保證安全生產(chǎn)的重要措施。高純氣體的監(jiān)測(cè)與分析，只有采用先進(jìn)的分析方法和精密的分析儀器，才能獲得精i確的分析數(shù)據(jù)。
氣體監(jiān)測(cè)和分析的重要性
隨著晶片的幾何結(jié)構(gòu)縮小，集成電路集成度的不斷提高，即使有極微量的氣態(tài)雜質(zhì)的沾污和極小的塵埃污染，也會(huì)給生產(chǎn)帶來(lái)嚴(yán)重的破壞性。
氮?dú)庠诔r下是一種無(wú)色無(wú)嗅的氣體，合肥氣體，在標(biāo)準(zhǔn)情況下的氣體密度是1.25g·dm-3，熔點(diǎn)63K（ -209.8℃），沸點(diǎn)75K（-195.6℃），臨界溫度為126K，它是個(gè)難于液化的氣體，在水中的溶解度很小，在283K時(shí)，一體積水約可溶解0.02體積的N2。氮?dú)庠跇O低溫下會(huì)液化成白色液體，工業(yè)氣體價(jià)格，進(jìn)一步降低溫度時(shí)，更會(huì)形成白色晶狀固體，高純工業(yè)氣體，通常市場(chǎng)上供應(yīng)的氮?dú)舛际⒂诤谏珰怏w瓶中保存，不能燃燒，也不支持燃燒，不易溶于水。
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